在微電子用潔凈室、藥品生產(chǎn)用潔凈室中，常常在產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中使用或產(chǎn)生，各種酸性和堿性物質(zhì)、有機溶劑和一般氣體、特種氣體；在致敏性藥物、某些甾體藥物、高活性、有毒性藥物生產(chǎn)過(guò)程還會(huì )有相應的有害物質(zhì)排出或泄漏進(jìn)入潔凈室內，為此對于潔凈室內可能排出各種有害物質(zhì)、氣體或粉塵的生產(chǎn)工藝設備/工序設置局部排風(fēng)裝置/全室排風(fēng)裝置，按生產(chǎn)工藝過(guò)程排出的廢氣類(lèi)型可將排風(fēng)裝置（系統）大體劃分為下列幾種類(lèi)型：

（1）一般排風(fēng)系統

指在生產(chǎn)輔助用室、生活用室，如值班室、衛生間等排出的一般廢氣，大多數情況下不需要進(jìn)行特殊處理即可直接排入大氣。

（2）有機氣體排風(fēng)系統

在產(chǎn)品生產(chǎn)中使用各類(lèi)有機物質(zhì)、溶劑作為原輔材料或清洗劑時(shí)，都將會(huì )在相關(guān)場(chǎng)所或設備處散發(fā)有機物質(zhì)、溶劑的氣體，應設置排風(fēng)裝置。在一般情況下，有機排風(fēng)系統中的有機氣體濃度很低，若能達到國家標準規定的大氣排放標準則可直接排入大氣，不需設置廢氣處理裝置；但當排風(fēng)系統中有機氣體濃度超過(guò)規定時(shí)，應設有機氣體處理裝置，經(jīng)處理達標后才能排入大氣。有機排氣的凈化處理有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等：

活性炭吸附法主要用于中小流量且不含粉塵、膠粘物質(zhì)的苯類(lèi)、汽油類(lèi)有機排氣的處理；液體吸收法設備簡(jiǎn)單、耗能低，但吸收效率不高；催化燃燒法主要用于較高濃度的苯類(lèi)、醇類(lèi)、脂類(lèi)、汽油等有機排氣的處理。

有機氣體處理裝置應根據排風(fēng)系統所含有機物質(zhì)的品種、濃度情況選用相應的處理設備。

（3）酸性/堿性氣體排風(fēng)系統

在產(chǎn)品生產(chǎn)中的濕法化學(xué)腐蝕、酸液清洗、實(shí)驗室內均有酸性氣體排出，在這類(lèi)酸性氣體的排風(fēng)系統通常設置濕式洗氣吸收塔處理后排入大氣；排風(fēng)系統氣體中含有堿性物質(zhì)或排氣中混入堿性化學(xué)試劑時(shí)，與酸性氣體排風(fēng)系統類(lèi)似，通常采用濕式洗氣吸收塔處理后排入大氣。

近年來(lái)，由于大氣排放標準越來(lái)越嚴格，需對含有酸性/堿性物質(zhì)濃度較低的排氣也應進(jìn)行凈化處理才能達到排放標準，為此可采用專(zhuān)用吸附劑對酸性/堿性排氣進(jìn)行處理達標后才能排入大氣，此種吸附劑一般為一次性的，使用后通常作為固體廢棄物由城市垃圾處理場(chǎng)集中處理。

（4）熱氣體排風(fēng)系統

對生產(chǎn)過(guò)程中的各種爐子、高溫滅菌設備等均有熱氣排出，由于排氣溫度校高，有時(shí)可采用熱回收等方式進(jìn)行處理，若排氣量較小或不便進(jìn)行處理時(shí)，在采取必要的隔熱措施后直接排入大氣。

（5）含粉塵的排風(fēng)系統

鑒于產(chǎn)品品種不同、生產(chǎn)工藝過(guò)程不同，排氣中的粉塵性質(zhì)、濃度均各不同，應根據其排氣中的粉塵性質(zhì)、濃度選用各類(lèi)除塵裝置，一般采用布袋除塵器、帶過(guò)濾元件的過(guò)濾裝置。

（6）特殊氣體排氣系統

在半導體集成電路生產(chǎn)中常常需使用一些特殊氣體，其中許多特殊氣體均屬于易燃易爆/有毒/有腐蝕性的氣體，對于這類(lèi)排氣系統首先應按特氣的品種、性質(zhì)劃分，防止在排氣系統中產(chǎn)生化學(xué)反應；其次應選用專(zhuān)用的廢棄處理裝置，特氣排氣的處理方法有稀釋法、吸收法、吸附法、催化燃燒法等；最后，排氣系統的設備、管道的材料選用必須根據排氣中的特氣性質(zhì)選擇相適應的材質(zhì)，避免與排放的特氣發(fā)生反應。

（7）藥品生產(chǎn)中有害、有毒的排風(fēng)系統

在生產(chǎn)或分裝青霉素等強致敏性藥物、某些甾體藥物以及高活性、有毒藥物的房間、二類(lèi)危險度以上病原體操作區的排風(fēng)口，應安裝高效過(guò)濾器，使污染危險降至最低限度。并且此類(lèi)排風(fēng)系統排風(fēng)口與新風(fēng)進(jìn)風(fēng)口應相隔一定距離。